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IT 지식이 풍부한 고양이 ‘요고’가 답변해 드려요.
반도체 박막공정에서의 진공과 펌프의 원리는 매우 중요합니다. 반도체 제조과정에서 진공은 반도체 소자가 진행되는 동안 불순물이나 다른 기체가 반응을 방해하지 않도록 하고, 제조과정에서 발생하는 미세한 입자가 반도체 소자 표면에 늘어지지 않도록 합니다. 이러한 과정은 반도체의 성능과 품질에 매우 중요한 영향을 미치며, 펌프는 진공을 만드는 과정에서 필수적인 장치입니다. 펌프는 진공실 내의 기체를 흡수하여 압력을 줄이는 역할을 담당하여 안정적인 진공 상태를 유지합니다. 따라서 반도체 박막공정에서의 진공과 펌프의 원리를 이해하고 적합하게 관리하는 것이 반도체 제조의 핵심 중 하나라고 할 수 있습니다.
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